按照《松山湖材料实验室基建管理办法》规定，现对“松山湖材料实验室微加工与器件平台新增工艺设备安装项目”进行采购意向公示。

1、项目名称：松山湖材料实验室微加工与器件平台新增工艺设备安装项目

2、项目地点：松山湖材料实验室新园区A4栋、双创园区C1栋

3、投资估算：1000000元

4、主要建设内容：

         对硅外延设备、原子层沉积设备、高温退火炉设备等微纳加工设备进行以下安装工作：

       （1）新增特气气柜并进行高纯工艺气体管道连接安装；

       （2）设备冷却水、电力、排风等机电部分连接安装；

       （3）其它零星配套厂房改造。

5、采购要求：具有建筑机电安装工程专业承包三级或以上资质，3年内有微纳加工类设备或者半导体行业设备二次配安装业绩

6、公示期限：自2024年10月08日至2024年10月11日止

7、采购联系人：刘老师，联系电话：17711474717

撰稿：后勤基建管理部