按照《松山湖材料实验室政府采购管理办法》规定，采购政府集中采购目录以外且单价或批量为50万元（含）以上且限额标准（100万元）以下的货物和服务，采购需求部门及采购人应在采购前进行广泛调研，详细了解市场供应情况，进行性能与价格对比，根据实验需求及各供应商提供的产品价格、技术指标、性能优劣等标准选取意向供货商。完成市场调研后，由采购管理部门将《采购申请表》、《市场调研报告》及《报价单》在实验室内进行公示，公示期不少于3个工作日，公示无质疑后开展采购工作.

松山湖材料实验室微加工与器件平台关于IBE刻蚀设备采购项目，采购预算 96万元。经采购需求部门进行市场调研及比价后，拟由北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司提供（或承担），产品型号: IBE-200P ，价格:   960，000元。

供应商征求意见及实验室内公示。公示期限从2025年6月3日至2025年6月6日止。潜在政府采购供应商等对公示内容有异议的，请于公示期满后两个工作日内以实名书面形式将意见（包括质疑意见和相关依据、联系人、联系电话、地址等）反馈至松山湖材料实验室科研部（联系人：林千永，联系电话：0769-89136704，地址：东莞市大朗镇屏东路333号松山湖材料实验室）。

附件：

1.采购申请单

2.市场调研报告

3.报价单1 ，报价单2，报价单3 

　　松山湖材料实验室
　　2025年6月3日

撰稿：科研项目管理部